民國71年10月1日,本校與國科會配合地區研究發展特色,成立中部貴重儀器使用中心,購置貴重精密儀器,置於適當場所,並設置諮詢教授與技術人員,對相關研究人員,提供分析檢測服務,使國家資源作最有效運用。由於國科會與本校對貴重儀器中心的持續支持,民國88年,改稱「國立中興大學研發處貴重儀器中心」。目前本中心經國科會核定設置12項貴重儀器,並與國科會貴儀使用系統相連,可上網直接預約。另設有校內貴重儀器,歡迎使用相關儀器。