民國71年10月1日，本校與國科會配合地區研究發展特色，成立中部貴重儀器使用中心，購置貴重精密儀器，置於適當場所，並設置諮詢教授與技術人員，對相關研究人員，提供分析檢測服務，使國家資源作最有效運用。由於國科會與本校對貴重儀器中心的持續支持，民國88年，改稱「國立中興大學研發處貴重儀器中心」。目前本中心經國科會核定設置12項貴重儀器，並與國科會貴儀使用系統相連，可上網直接預約。另設有校內貴重儀器，歡迎使用相關儀器。
